Campbell, Stephen A
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자료유형 | 단행본 |
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서명/저자사항 | The science and engineering of microelectronic fabrication/ Stephen A. Campbell. |
개인저자 | Campbell, Stephen A |
판사항 | 2nd ed. |
발행사항 | New York (State): Oxford University Press, 2001. |
형태사항 | xiv, 603 p.: ill.; 24 cm. |
총서사항 | The Oxford series in electrical and computer engineering |
ISBN | 0195136055: |
서지주기 | Includes bibliographical references and index. |
일반주제명 | Semiconductors -- Design and construction. |
분류기호 | 621.3815 |
언어 | 영어 |
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